工作原理
设备通过电子枪发射高能电子束,经电磁透镜聚焦后扫描样品表面。电子与样品相互作用产生二次电子(SE)、背散射电子(BSE)及特征X射线。SE信号反映表面形貌(分辨率达3nm),BSE信号揭示成分差异,X射线经能谱仪(EDS)分析可实现元素定性定量(检测范围B-U)。
应用范围
适用于金属材料断口分析、半导体芯片缺陷定位、陶瓷材料晶界观察、生物样本超微结构成像及地质矿物成分鉴定。典型场景包括:新材料研发中的形貌表征、产品质量失效分析、学术研究中的微观机制探索,助力用户深入解析样品结构与性能关系。
产品技术参数
分辨率:SE模式3nm(30kV),BSE模式4nm(30kV)
加速电压:0.5kV-30kV连续可调
放大倍数:10倍-100,000倍
样品室:φ120mm(直径)×50mm(高度),支持倾斜观察(0-90°)
EDS接口:标配硅漂移探测器(SDD),元素检测范围B-U
成像模式:SE/BSE/混合模式,支持实时图像拼接
真空系统:无油机械泵+涡轮分子泵,抽真空时间≤2分钟
电源:AC 220V±10%,50Hz,功率≤1500W
产品特点
高分辨率与低电压成像:3nm分辨率可清晰观察纳米级结构,低电压(0.5kV)模式减少样品充电效应,适配绝缘材料(如陶瓷、生物样本)。
快速抽真空与操作简便:2分钟内完成抽真空,触控屏界面支持一键式参数调节,无需专业培训即可上手。
多功能分析集成:标配EDS能谱仪,支持元素面分布与点分析,满足成分与形貌同步表征需求。
紧凑设计与低维护成本:台式结构占地面积小(0.6㎡),关键部件免维护设计,适合实验室与生产线快速部署。
智能图像处理:内置自动对焦、亮度调节及图像拼接功能,支持导出TIFF/JPEG格式,兼容第三方分析软件(如ImageJ)。