工作原理
Fischer MP0采用双模协同检测机制:磁感应模式通过霍尔传感器测量铁磁性基材(如镍、铁)表面镀层的磁导率变化,结合标定曲线直接输出厚度值,尤其擅长0.01-10μm超薄镀层检测;涡流模式则利用高频交变磁场(1-20MHz可调)在导电镀层(如铜、金、银)中感应涡流,通过检测磁场衰减量反演镀层厚度,覆盖0.05-100μm范围。设备内置智能算法动态补偿基材电导率、探头提离效应及温度漂移(0-50℃自动校准),确保测量重复性≤0.005μm,精度符合ISO 2360与ASTM B244标准。
应用范围
聚焦高端制造微米级厚度检测场景:半导体芯片钝化层/金属互连层厚度验证、精密光学镀膜(增透膜、反射膜)均匀性筛查、医疗器械钛合金表面生物涂层分析、5G通信高频板材微孔镀铜厚度控制、航空航天发动机叶片热障涂层(TBC)监测等。其支持非磁性金属、合金及半导体材料镀层检测,适配平面、曲面及微小结构(检测面积≥0.2mm?),尤其适合无尘车间、真空环境及野外作业等严苛工况。
技术参数
磁感应模式量程0.01-10μm,分辨率0.001μm;涡流模式量程0.05-100μm,分辨率0.01μm;探头频率1/5/10/20MHz四档可调;提离补偿≤0.3mm,支持曲率半径≥3mm的曲面检测;2.4英寸OLED高清屏,实时显示厚度值、标准差及波形图;内置8000mAh锂电池,连续工作≥15小时;数据存储≥20000组,支持USB/Wi-Fi/蓝牙多通道导出;防护等级IP67,抗跌落设计(1.5m),重量仅480g(含探头)。
产品特点
双模一键切换,无需更换探头即可完成磁性/非磁性基材检测,单手操作效率提升50%;智能环境适应系统自动过滤振动、电磁干扰,确保数据稳定性;内置材料数据库覆盖500+种常见镀层组合,新手10分钟即可掌握;支持自定义上下限报警、统计过程控制(SPC)分析及批量检测报告生成,无缝对接MES/QMS系统;通过CE、FCC、RoHS认证,满足半导体行业ESD防护要求。Fischer MP0以“超精、智能、全能”的特性,重新定义高端制造厚度检测标准。