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内应力检测仪

内应力检测仪

361
规格/型号:暂无
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::021-6428 3335(请说明信息源自“B—sports必一网”)
更新时间:2025-07-07
级别:待认证

内应力检测仪说明介绍

内应力检测仪

内应力检测仪


内应力检测仪(型号:SV)是一款用于测量化合物晶圆内应力分布及缺陷筛查的设备。它基于双折射应力测量模型,能够实现应力的瞬时测量,并以二维分布伪彩图的形式显示结果。设备采用双远心检测光路,确保相位延迟测量的高精度,并提供多种镜头选择以满足不同的测量视场需求。此外,设备还配备定制化的样品托盘,便于批量测试不同规格的晶圆。

型号:SV

具备化合物晶圆内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能。

优势

√基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量,显示应力二维分布伪彩图

√采用双远心检测光路,相位延迟测量精度高

√根据不同测量视场要求,多种镜头可选

√订制化样品托盘,适应不同规格晶圆批量测试

适用对象

适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件(平晶,棱镜,波片,透镜等)的内应力检测

适用领域

面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业

检测原理

√基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应,偏振光透过它时会发生偏振态调制,通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算??材料的应力延迟量,从而得到材料内应力分布;

√可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测。

内应力检测仪

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上海纳腾仪器有限公司
企业认证:
  
所属领域:
检测设备
企业性质:
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经营范围:
-
联系电话:
021-6428 3335
详细地址:
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