Filmetrics F32 光反射式膜厚仪
简介
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品介绍:
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品特点优势:
非接触测量:避免损伤薄膜,适用于脆弱或敏感材料;
高精度与宽量程&:垂直分辨率达纳米级,可测厚度范围从1nm至3mm;
多场景适用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快:配置完成后,数秒内即可完成测量。
预装了100多种材料,使得单层和多层薄膜的测量很容易实现
提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。