Zeta-20 白光共聚焦显微镜
简介
KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜基于ZDot技术而来。Zeta-20 白光共聚焦显微镜可以对大部分材料和结构进行成像分析,从光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。
KLA Zeta-20 白光共聚焦显微镜产品介绍:
KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜基于ZDot技术而来。Zeta-20 白光共聚焦显微镜可以对大部分材料和结构进行成像分析,从光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。
KLA Zeta-20 白光共聚焦显微镜产品特点:
Zeta-20 白光共聚焦显微镜提供多种光学测试技术,以满足用户各种不同领域的测试需求。
ZDotZ点阵三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量“困难”的表面。
ZIC干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
ZSI白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。
ZI 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。
ZFT反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量ULA+ 2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
KLA Zeta-20 白光共聚焦显微镜产品优势:
重复性和再现性
接触式测量,适用于多种材料
测量软材料的微力控制
梯形失真校正可大幅度减少侧视图造成的失真
弧形校正补偿探针的弧形运动
KLA Zeta-20 白光共聚焦显微镜产品测量原理:
KLA Zeta-20 白光共聚焦显微镜的原理是通过共聚焦原理实现样品的高分辨率、高对比度的光学切片能力。它结合了传统光学显微镜和激光共聚焦显微镜的特点,利用宽谱白光作为光源,通过空间滤波机制消除离焦光干扰,从而获得高精度的三维图像。