工作原理
该测厚仪采用双光束激光三角反射法,通过上下两组高精度激光传感器同步发射波长为650nm的可见激光束,分别照射工件上下表面。反射光经光学透镜组聚焦至CMOS阵列,系统根据上下光斑的位移差计算厚度值,并实时结合温度、材料折射率等参数进行智能补偿。非接触式测量避免了对柔软或超薄材料的物理损伤,同时双传感器设计有效抵消工件弯曲或振动带来的误差,确保测量结果的重复性与真实性。
应用范围
覆盖各类工件的厚度检测场景:半导体晶圆涂层厚度验证、锂电池极片双面涂层一致性分析、OLED显示基材均匀性筛查、精密轴承套圈壁厚测量、航空复合材料层间厚度监控等。其0.01μm分辨率与±0.05μm高精度(实验室环境),适配实验室研发测试与生产线高速在线检测双重需求,尤其适合运动中的工件或曲面工件的动态测量。
技术参数
测量范围0-10mm(可定制扩展),分辨率0.01μm,重复性≤0.03μm;激光波长650nm,测量频率最高20kHz;工作距离30-80mm可调,支持垂直/倾斜多角度测量;配备7英寸工业级触控屏与以太网/USB/RS485数据接口,兼容MES/ERP系统;防护等级IP65,工作温度范围0-50℃,湿度≤90%RH;内置锂电池续航超12小时,支持边充电边使用。
产品特点
德国进口光学组件经纳米级抛光处理,抗环境光干扰能力提升30%;智能动态滤波算法可自动过滤工件抖动噪声,确保高速测量稳定性;一键自动校准与多参数同步分析功能简化操作流程;模块化设计支持传感器快速更换,适配不同厚度范围测量需求;全金属机身搭配气密结构,适应粉尘、油污等恶劣环境使用,助力企业实现降本增效与智能化生产升级。