工作原理
DPT系列采用非接触式激光共焦位移传感技术:仪器主轴驱动被测工件以超低速(0.1-100rpm可调)旋转,激光传感器发射共焦光束聚焦于工件表面,通过检测反射光波长变化实时采集轮廓数据点(每转采样点数高达32768点);系统运用高阶傅里叶变换与最小区域法拟合理想几何图形,同步计算圆度、圆柱度、直线度及波纹度等参数,并支持谐波分析(最高500阶)以定位加工误差源。设备内置双温区补偿模块(主轴/传感器独立修正)与主动隔振系统,确保测量重复性≤0.02μm,精度符合ISO 12181-1与GB/T 22523标准。
应用范围
聚焦超精密加工形位误差检测场景:精密轴承滚道圆度验证(P4/P2级)、航空发动机叶片榫槽圆柱度分析(Ra≤0.2μm)、半导体晶圆传输轮同轴度控制(≤0.5μm)、医疗器械人工关节球头圆度检测(Φ10-50mm)、光学镜片非球面轮廓度筛查等。其支持直径Φ0.5-300mm、长度≤500mm的工件检测,适配金属、陶瓷、晶体及高分子材料,尤其适合科研院所超精密测量与高端制造产线在线抽检。
技术参数
主轴转速0.1-100rpm无级调节;激光传感器量程±1mm,分辨率0.0001μm;径向采样点数1024-32768可选;圆度测量范围0-10μm,圆柱度测量范围0-20μm;7英寸电容触摸屏支持实时3D形貌重建与谐波频谱分析;内置2TB固态硬盘,存储数据≥500万组;支持USB/以太网/GPIB多通道通信;防护等级IP40,工作温度20±1℃,湿度≤60%RH。
产品特点
全自动化检测流程,一键完成工件装夹、旋转、采样与报告生成;智能软件内置20+种国际标准判定规则,自动标注误差位置并生成修正建议;气浮主轴设计将回转误差控制在≤0.03μm,保障超低速检测稳定性;模块化测头支持快速更换(激光/电容/电感测头可选),适配不同表面特性工件;通过CE、NMI认证,抗电磁干扰能力达10V/m,满足无尘车间洁净度要求。DPT系列以“极致精度、智能高效、稳定可靠”的特性,重新定义超精密圆度测量技术标杆。