工作原理
IF-Profiler采用垂直扫描白光干涉技术:通过分光镜将宽带光源分为参考光与测量光,后者经显微物镜聚焦至被测表面后反射,与参考光在CCD相机传感器上形成干涉条纹;系统驱动压电陶瓷(PZT)带动物镜沿光轴方向进行纳米级步进扫描(步进精度1nm),同步采集不同高度位置的干涉图像;运用相移干涉算法与频域分析技术,从干涉信号中提取表面高度信息,重建三维形貌图(垂直分辨率达0.01nm);结合智能去噪算法与形貌滤波器,自动分离表面波纹度与粗糙度成分,支持ISO 25178、GB/T 3505等国际国内标准参数计算。
应用范围
适配金属、陶瓷、聚合物、半导体及复合材料等多种材质表面,覆盖多行业表面质量检测需求:半导体领域(硅晶圆表面粗糙度Ra≤0.1nm验证、光刻胶涂覆均匀性分析)、精密光学(激光晶体端面抛光质量筛查、光学薄膜表面缺陷检测)、生物医疗(人工关节羟基磷灰石涂层厚度测量、牙科种植体表面处理工艺评估)、汽车制造(发动机缸体珩磨网纹角度检测、曲轴轴颈表面粗糙度一致性控制)及3C电子(手机玻璃盖板AF涂层耐磨性测试、陶瓷背板表面光泽度分析)等。
技术参数
垂直测量范围0.1μm-10mm,垂直分辨率0.01nm,横向分辨率0.5μm;扫描速度10μm/s-2mm/s可调,支持高速动态测量模式(最高500μm/s);数据输出兼容ASCII、TXT、XML及专业分析软件格式(MountainsMap、Gwyddion);设备重量18kg,尺寸450mm×350mm×500mm,工作温度15-35℃,湿度≤70%RH;配备5MP高分辨率CCD相机与10×/20×/50×可更换物镜,支持倾斜样品测量(最大倾斜角±15°)。
产品特点
非接触式测量,避免触针划伤软质表面;智能软件内置AI形貌分类算法,可自动识别划痕、橘皮、孔洞等缺陷类型;提供一键式标准参数计算(Ra、Rz、Rq等20+参数)与自定义滤波器设置功能;支持与机器人联动实现自动化生产线集成;通过CNAS实验室认可与ISO 17025计量认证,数据可追溯至国际计量基准。IF-Profiler以“精准、高效、智能”的特性,重新定义表面粗糙度检测技术新标准。