工作原理
SSR300+采用电感式位移传感技术,通过金刚石触针以4mN恒定测力轻触被测表面,触针随表面微观起伏产生微米级位移,驱动内置高精密电感传感器实时捕捉位移信号。信号经DSP芯片进行数字滤波、参数计算及曲线拟合,直接输出Ra、Rz、Rq等16项粗糙度参数及轮廓曲线。其创新的无导头设计摒弃传统导轨结构,通过高刚性气浮轴承与闭环伺服控制系统实现触针的精准直线运动,消除导轨摩擦误差,确保0.025μm至0.100μm小值粗糙度的测量线性度误差≤±1.5%,平晶值重复性≤0.01μm。
应用范围
精密加工:检测轴承套圈、齿轮、液压阀体等零件的表面光洁度,评估磨削、抛光工艺质量;
汽车电子:验证发动机缸体、传感器外壳、连接器触点的耐磨性,确保接触可靠性;
航空航天:分析涡轮叶片、结构件的高温合金表面完整性,满足严苛的疲劳寿命要求;
半导体制造:测量晶圆、芯片载板的表面平整度,优化化学机械抛光(CMP)工艺。
技术参数
测量范围:Ra 0.005-16μm,Rz 0.02-160μm;
分辨率:0.001μm(±20μm量程);
取样长度:0.25mm、0.8mm、2.5mm可选;
驱动速度:0.135-1mm/s(自动匹配取样长度);
滤波方式:RC、PC-RC、GAUSS、D-P四种国际标准滤波器;
兼容标准:ISO、DIN、ANSI、JIS四大国际规范。
产品特点
无导头创新设计:消除导轨摩擦干扰,小值粗糙度测量稳定性提升30%;
高精度传感器:采用500um大量程电感传感器,支持划痕深度同步检测;
智能化操作:7英寸彩色触摸屏实时显示参数与轮廓图形,支持USB数据导出及打印机直连;
模块化扩展:可选配波纹度测量模块、支承率曲线分析软件,实现“一机多用”。