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三维测量显微镜

三维测量显微镜

363
规格/型号:暂无
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::021-6428 3335(请说明信息源自“B—sports必一网”)
更新时间:2025-07-07
级别:待认证

三维测量显微镜说明介绍

三维测量显微镜

三维测量显微镜


三维表面微观测量及粗糙度评定广泛应用于精密加工、半导体加工、材料分析等领域

优势

√亚纳米级纵向分辨率,适合光滑表面测量分析

√简单、精确、快速、可重复

√丰富的测量模式支持不同2D/3D测量需求

功能

√表面三维粗糙度非接触测量

√表面微观三维结构测量

√膜厚测量与分析

√显微反射光谱测量(选)

适用对象

精密光学元件,微纳加工器件,金属机加工零件,晶圆等

测量原理

√白光干涉显微测量原理:采用白光光源,将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结形成微观三维轮廓,采用不同测量倍率物镜,纵向测量分辨率可达到亚纳米量级

√显微光谱测量:选配光谱模块可以实现表面微区光谱测量和膜厚测量功能

三维测量显微镜
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021-6428 3335
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