原位AFM in SEM
型 号 :LiteScope
LiteScope?扫描探针显微镜(SPM),便于集成到各种扫描电子显微镜(SEM)中。互补SPM和SEM技术的结合(CPEM)可以进行复杂的样品分析,包括表面形貌、机械性能、电性能、化学成分、磁性等的表征。 还能与其他扫描电镜附件相结合,如聚焦离子束(FIB)或气体注入系统(GIS )用于纳米/微结构的制备和表面改性可以对装配结构的快速和简单的3D检查。 同时,SPM和SEM测量能够在同一地点、同一时间、同一协调系统进行。
LiteScope?采用关联探针和电子显微镜技术(CPEM),该技术利用两种不同的技术对同一物体城乡的方法。CPEM能够同时对样品表面的同一个区域进行SEM和AFM表征。
LiteScope?通常用于高真空环境,但也可根据要求适用于超高真空环境。
工作温度:+15°C至+25°C
标准工作压力:10-5Pa~105Pa
外形尺寸:129 mm x 90 mm x 45-55 mm
扫描面积:22 mm x 11 mm x 8 mm
扫描范围:100 um x 100 um x 100 um
分辨率: 0.2nm