江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置：B—sports必一 > 有色产品 >

有色金属设备

矿山设备

冶金设备

材料制备及加工设备

环境保护设备

分析检测设备

材料

> 分析检测设备

> 物理检测设备

> 全自动晶圆检测原子力显微镜

全自动晶圆检测原子力显微镜

全自动晶圆检测原子力显微镜

439
规格/型号：NX-Wafer
品牌：纳腾
应用领域：检测设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：上海纳腾仪器有限公司
咨询电话:：02164283335（请说明信息源自“B—sports必一网”）
更新时间：2025-07-08
级别：待认证

全自动晶圆检测原子力显微镜说明介绍

NX-Wafer全自动晶圆检测原子力显微镜

NX-Wafer全自动晶圆检测原子力显微镜


高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量，晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的，对于先进的元件制造商，芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制，通过提供低于0.5埃的业界低噪音，并将与其真正的非接触式是模式相结合，ParkNX-Wafer能够可靠地获得具有小针尖变量的亚埃米级粗糙度测量，Park的串扰消除还允许非常平坦的正交XY扫描，不会有背景曲率，及时在平坦的表面上，也不需要过多考虑扫描位置，速率和大小，这使得其非常精确和可重复地对微米级粗糙度到长范围不平整表面进行测量。帕克的智能ADR技术提供全自动的缺陷检测和识别，使得关键的在线过程能够通过高分辨3D成像对缺陷类型进行分类并找出他们的来源，智能ADR专门为半导体工业设计提供先进的缺陷检测解决方案，具有自动目标定位，且不需要经常损坏样品的密集参考标记，与传统的缺陷检测方法相比，智能ADR过程提高了生产率，此外，帕克具有创造性True-Contact模式AFM技术，使得新ADR有能力提高20倍的更长的探针寿命。

工业领先的低噪声帕克原子力显微镜于长距离滑动台相结合，成为用于化学机械抛光计量的原子力轮廓仪，新的低噪声AFP为局部和全面均匀性测量提供了非常平坦的轮廓扫描，具有好的轮廓扫描精度和市场可重复性，这保证在宽范围的轮廓量程上没有非线性或高噪声背景去除的高精度测量。

主要功能

1.晶圆和基底的自动缺陷检测

新的300mm光片ADR提供了从缺陷映射的坐标转换和校正缺陷的测量和放大扫描成像的全自动缺陷复查过程，不需要样品晶圆做任何的标记.

2.亚埃米级表面粗糙度控制

通过在整个晶圆区域提供低于0.5埃的业界低噪音下线，可以对平坦的基底和晶圆进行精确，可重复和可再现的亚埃米级粗糙度测量，并小化针尖的变量，即使对扫描尺寸达到100μmx100μm的远距离波长，也能够获得非常精确和可重复的表面测量

3.CMP进行表征的长范围轮廓扫描

ParkNX-Wafer实现了先进的CMP测量，包括凹陷、侵蚀和边缘过度侵蚀（EOE）的局部和局部的平坦度测量。

应用

线宽测量

光滑材料表面粗糙度测量

晶圆缺陷自动检测应用
NX-Wafer全自动晶圆检测原子力显微镜
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
全自动晶圆检测原子力显微镜 原子力显微镜 检测设备
上一个： 立体显微镜 下一个： 全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪

与“全自动晶圆检测原子力显微镜”相关的产品

高温蠕变试验机
高温蠕变试验机
大直径线材扭转测试机
大直径线材扭转测试机
超细钢丝扭转圈数试验机
超细钢丝扭转圈数试验机
材料扭矩测试机
材料扭矩测试机
动态扭转疲劳试验设备
动态扭转疲劳试验设备
切削液攻丝扭矩试验机
切削液攻丝扭矩试验机
金属超细丝扭转试验机
金属超细丝扭转试验机
自动测量光学膜厚仪
自动测量光学膜厚仪
10mm预应力钢绞线扭力测试机
10mm预应力钢绞线扭力测试机
铜棒金属线材扭转试验机
铜棒金属线材扭转试验机

与“全自动晶圆检测原子力显微镜”相关的最新需求

全国热门有色金属设备推荐

江苏矿山设备 江苏选矿设备 北京矿山设备 北京选矿设备 江苏冶金设备 南京冶金设备 江苏火法冶金设备 合肥湿法冶金设备 江苏环境保护设备 南京环境保护设备 江苏废水处理设备 江苏大气治理设备 南京大气治理设备 江苏分析检测设备 北京分析检测设备 有色金属会议
上海纳腾仪器有限公司
企业认证：
  
所属领域：
检测设备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
02164283335
详细地址：
-

报名参会

2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
河南 - 洛阳
2025年07月16日 ~ 18日
2025全国煤化工科技创新与产业绿色发展论坛
2025全国煤化工科技创新与产业绿色发展论坛
山西 - 太原
2025年07月16日 ~ 18日
第二届全国海洋工程及船舶材料技术交流会
第二届全国海洋工程及船舶材料技术交流会
河南 - 洛阳
2025年07月18日 ~ 20日
第七届有色金属分析检测与标准化技术交流会
第七届有色金属分析检测与标准化技术交流会
湖北 - 武汉
2025年07月23日 ~ 26日
第二届退役新能源器件循环利用技术交流会
第二届退役新能源器件循环利用技术交流会
上海 - 上海
2025年07月24日 ~ 26日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

高温蠕变试验机
高温蠕变试验机
标签：
高温蠕变试验机 蠕变试
厂家：山东力领试验机有限公司
整体浇筑滤池
整体浇筑滤池
标签：
环境保护设备 废水处理
厂家：广州龙岱环保科技有限公司
微机屏显式端面摩擦磨损试验机
微机屏显式端面摩擦磨损试验机
标签：
微机屏显式端面摩擦磨损
厂家：山东力领试验机有限公司
内进流格栅
内进流格栅
标签：
环境保护设备 废水处理
厂家：广州龙岱环保科技有限公司
不锈钢自清洗过滤器
不锈钢自清洗过滤器
标签：
环境保护设备 废水处理
厂家：潍坊远航环保科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

1杭州嘉悦智能设备有限公司
2赛默飞世尔科技
3河南川萍环保科技有限公司
4濮阳豫沪不锈钢制造有限公司
5南通联源机电科技股份有限公司
6江苏安达环保科技有限公司
7山东犇鑫化工有限公司
8河北远拓机电设备制造有限公司
9艾格斯威(上海)检测设备有限公司
10武汉卡诺斯科技有限公司

最新更新产品

? 高温蠕变试验机
2025-07-14
? 整体浇筑滤池
2025-07-14
? 微机屏显式端面摩擦磨损试验机
2025-07-14
? 内进流格栅
2025-07-14
? 不锈钢自清洗过滤器
2025-07-14
? 污水气浮机
2025-07-14
? 溶气气浮设备
2025-07-14
? 大直径线材扭转测试机
2025-07-14
? 超细钢丝扭转圈数试验机
2025-07-14
? 材料扭矩测试机
2025-07-14
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
店铺认领信息登记