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薄膜厚度测量仪测厚仪

薄膜厚度测量仪测厚仪

230
规格/型号:Filmetrics
品牌:优尼康
应用领域:检测设备
产地:广东 - 东莞
厂家/供应商:优尼康科技有限公司
咨询电话::400-616-7676转1554(请说明信息源自“B—sports必一网”)
更新时间:2025-07-13
级别:待认证

薄膜厚度测量仪测厚仪说明介绍

Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪

Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪


简介

Filmetrics F80-C膜厚测量仪采用厚度成像技术,提供快速、准确且经济的薄膜厚度测量解决方案。该设备无需复杂的移动硬件,能在29秒内完成300毫米晶片的21点扫描,适用于化学机械抛光、化学气相沉积等多种工艺。其自动化和直观的操作界面减少了人为错误,降低了成本,是晶片追踪工艺工程师的理想选择。

Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪

F80-C膜厚测量仪使生产晶片的测量变得简单实惠

工艺工程师希望薄膜厚度测量是快速容易的,现在高精度的厚度成像技术让 Filmetrics 可以快速建立配方,并且拥有快速的测试速度,而且价格仅仅是同行业测量设备的小部分。 F80 可以应用在化学机械抛光、化学气相沉积、蚀刻等工艺中,这是晶片追索工艺工程师所期待的。

新技术= 低成本

与传统的测量工具不同, F80 不需要高精度的移动硬件去找寻微小的测试 pads,相反的,它可以快速的测量每个 pad 附近数以千计点的厚度,然后处理“厚度成像”结果,进而找到正确的厚度。可以替换昂贵的移动硬件,进而节约很高的成本。

使用方便

因为使用厚度成像技术, F80 不依赖过时的基于视频的图像识别技术,这意味着在 CMP 应用中通常会遇到的前后表面光对照比不同的问题,在 F80 系统中是不存在的。 也意味着配方的建立更自动化和直观,数据可以及时存,从而节省了时间,训练及减少误操作引发的错误。

快速

因为厚度成像技术, 300 毫米晶片在 F80 上扫描 21 点仅仅只需要 29 秒的时间,非常快速。
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