权利要求
1.一种PVD埃米金薄膜载体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、在基片玻璃反面激光标号;
S2、将S1步骤的基片玻璃依次进行超声波清洗、烘干、消毒、等离子清洗;
S3、将S2步骤的基片玻璃真空镀金属层，所述金属层为钛层和/或金层;
S4、将S3镀层后的基片玻璃切割、包装，得到PVD埃米金薄膜载体。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S1中所述基片玻璃为0.3mm-1.1mm平面浮化玻璃。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S2中所述消毒的条件为：真空环境中，300℃～400℃的温度下消毒。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S3中所述镀金属层的条件为：镀膜室通入Ar流量为200～520sccm，温度为50℃～130℃，镀膜室本底真空度1.0×10-3Pa～6.0×10-5Pa，充气后镀膜室总气压恒定为0.3～0.5Pa，所述镀钛层的厚度为3nm-20nm，所述镀金层的厚度为3nm-20nm。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述镀钛层的纯度为99.99%-99.9999%;所述镀金层的纯度为99.99%-99.9999%。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S4所述切割、包装在GMP净化环境下进行。
7.一种如权利要求1-6中任一项所述制备方法得到的PVD埃米金薄膜载体，其特征在于，在基片玻璃载体一面上依次镀有钛层和金层。
说明书
技术领域
[0001]本发明涉及合金靶材技术领域，尤其涉及一种PVD埃米金薄膜载体及其制备方法。
背景技术
[0002]目前在生物医学检测中，大量使用白玻璃作为生物病毒标志物及其它待检测的样本的载体，因玻璃中含有钠、硅、铁、铝、钙等离子会破坏和影响标记物检测的质量，同时玻璃表面存在微生物、细菌和病毒影响最终的检测结果，破坏准确性。金的微小颗粒(纳米金)直径在1～100nm之间，具有高电子密度、介电特性和催化作用，能与多种生物大分子结合，且不影响其生物活性，这为金在生物医学领域的应用提供了更多的可能性。由于纳米金微粒所具有的表面等离子体
声明：
“PVD埃米金薄膜载体及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：B—sports必一网
来源：湖南玉丰真空科学技术有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
