权利要求
1.一种提高柔性超薄玻璃抗弯强度的镀膜材料，其特征在于：所述镀膜材料包括：氧化钇Y2O3 35-50%、三氧化二铝Al2O3 20-35%、二氧化锆ZrO2 15-30%、五氧化三钛Ti3O5 10-25%。
2.如权利要求1所述的一种提高柔性超薄玻璃抗弯强度的方法镀膜材料的镀膜方法，其特征在于：所述镀膜方法包括以下步骤：
S1:将氧化钇、三氧化二铝、二氧化锆和五氧化三钛按比例混合，经球磨、静压和高温烧结制备增强型粘结层复合膜料;
S2:对柔性超薄玻璃基材进行离子源轰击预处理，清洁并活化表面;
S3:在真空镀膜机中依次沉积增强型粘结层，厚度为30-50nm;
S4:沉积缓冲层，采用四氮化三硅材料，厚度为100-150nm;
S5:沉积保护层，采用掺氟类金刚石碳膜，厚度为30-50nm;
S6:对镀膜后的基材进行动态调控激光退火，通过实时监测膜层温度变化，自适应调整激光功率与扫描速率，消除应力并优化微观结构;
S7:采用原位光谱分析技术验证膜层致密度与界面结合状态;
S8:通过抗弯强度、断裂韧性和耐磨性测试完成性能验证。
3.如权利要求1所述的一种提高柔性超薄玻璃抗弯强度的方法镀膜材料的镀膜方法，其特征在于：所述步骤S1中，将氧化钇、三氧化二铝、二氧化锆和五氧化三钛按质量百分比为35%-50%、20%-35%、15%-30%和10%-25%的比例混合，其中氧化钇作为主要增强相，三氧化二铝用于平衡硬度和膨胀系数，二氧化锆调节应力，五氧化三钛提升界面结合力;混合材料在球磨机中研磨至粒度小于50纳米且均匀度高于98%，随后在300-330千克每平方厘米的静压力下压制成块状，破碎为1-3毫米颗粒后，置于1350-1400摄氏度的高温烧结炉中烧结16-20小时。
4.如权利要求1所述的一种提高柔性超薄玻璃抗弯强度的方法镀膜材料的镀膜方法，其特征在于：所述步骤S2中，将柔性超薄玻璃基材置于真空镀膜机中，抽真空至7.5×10-4至8.5×10-4帕的极高真空环境，采用离子源轰击技术对玻璃表面进行2.5-3分钟的清洁与活化处理。
5.如权利要求1所述的一种提高柔性超薄玻璃抗弯强度的方法镀膜材料
声明：
“提高柔性超薄玻璃抗弯强度的镀膜材料及其镀膜方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：B—sports必一网
来源：许昌恒昊光学科技有限公司
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2025年07月16日 ~ 18日 
