多功能离子束研磨仪 Leica EM RES102
Leica EM RES102多功能离子束研磨仪是一款全自动多功能离子束研磨系统,适用于透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)样品的制备。它能够进行离子减薄、离子束抛光、离子刻蚀、样品离子清洗以及斜坡切割等多种操作。离子束能量范围为1keV至10keV,配备两把离子枪,可分别倾斜±45°,样品台倾斜角度为-120°至210°,离子束加工角度为0°至90°。样品平面摆动角度小于360°,垂直摆动距离为±5mm。该设备可容纳最大样品尺寸为直径25mm、高度12mm,提供多种样品台选择,包括TEM样品台(?3.0mm或?2.3mm)、FIB样品清洗台、SEM样品台、斜坡切割样品台(35°或90°斜坡切割)以及相应的冷冻样品台。采用全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间小于1分钟。设备全电脑控制,配备触摸屏操作界面和内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程。
*全自动多功能离子束研磨系统,可进行离子减薄(用于TEM);离子束抛光,离子刻蚀,样品离子清洗及斜坡切割(用于SEM)等
*离子束能令1keV 10keV,2把离子枪可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至210°,离子束加工角度0°至90°
*样品平面摆动角度<360°,垂直摆动距离±5mm
*可容纳zei大样品尺寸:直径25mm,高度12mm
*可选配样品台:TEM样品台(?3.0mm或?2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台(对样品35°或90°斜坡切割)及相应冷冻样品台
*全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间<1分钟
*全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程