工作原理
NST?采用高刚性压电陶瓷驱动系统,通过金刚石压头(如Rockwell C型或圆锥形)以恒定或递增载荷在样品表面划动,同时实时记录划痕过程中的载荷、位移及声发射信号。基于划痕形貌分析(如临界载荷LC的确定)与声发射监测,仪器自动计算涂层与基体的结合强度、薄膜的摩擦系数及材料的脆性指数。其独特的“动态力控制”模式可模拟实际工况下的渐变载荷作用,结合高速数据采集模块(≥1MHz),精准捕捉划痕起始、扩展及失效的全过程。
应用范围
覆盖微电子、新能源、生物医学、航空航天及光学涂层等领域。在微电子行业,用于评估集成电路互连层、封装材料及柔性显示屏基板的涂层附着力;新能源领域分析锂电池电极涂层、固态电解质膜的界面结合稳定性;生物医学领域测试医用植入物表面涂层(如钛合金氧化层、羟基磷灰石)的耐磨性与生物相容性;航空航天领域研究涡轮叶片热障涂层、碳纤维复合材料的界面断裂韧性;光学行业评估光学薄膜(如增透膜、反射膜)的抗划伤性能。
技术参数
载荷范围0.1mN-30N,分辨率0.1μN;划痕速度0.1μm/s-10mm/s;位移分辨率0.01nm;压头类型支持Rockwell C、圆锥形及自定义形状;声发射监测频率范围100kHz-2MHz;数据采集频率≥1MHz,支持力、位移、声发射三通道同步采集;设备集成高倍光学显微镜(可选配激光共聚焦),实现划痕形貌原位观测;工作温度范围-100℃至600℃(可选配加热模块)。
产品特点
亚纳米级位移精度与微牛级载荷分辨率,确保测试数据的高重复性与准确性;动态力控制与声发射监测技术,实现划痕过程的全维度解析;模块化设计支持快速更换压头、扩展环境控制模块及原位观测系统,适配多样化测试需求;用户友好型软件集成自动化测试流程、智能临界载荷识别及多格式报告生成功能,显著降低操作门槛。NST?以“精准、智能、灵活”为核心优势,成为纳米划痕测试领域的标杆设备。