工作原理
RE2300基于X射线穿透与衰减原理实现无损检测:
X射线发射:设备搭载微焦点X射线管,发射高能量、高分辨率的X射线束,穿透被测电子元器件。
图像采集:射线穿透物体后,由数字平板探测器接收衰减信号,转换为数字图像。
智能分析:内置AI算法对图像进行增强、滤波与缺陷识别,自动标记气孔、裂纹、虚焊等缺陷位置与尺寸。
三维成像:支持CT扫描重建功能,通过高精度旋转平台生成器件内部三维立体图像,实现缺陷精准定位。
应用范围
半导体制造:检测晶圆通孔、封装器件内部结构及焊接缺陷,确保芯片可靠性。
电子元器件:分析BGA焊球、QFN封装等工艺缺陷,验证2.5D/3D封装互连结构完整性。
电池检测:识别锂电池极片内部裂纹、夹杂物,优化电池安全性能。
精密制造:监测PCB板虚焊、SMT贴片气泡及连接器缺陷,提升产品合格率。
科研教学:高校及研究所用于材料内部结构分析与失效研究,支持教学实验与研发测试。
产品技术参数
X射线源:电压80-160kV可调,功率15W,微焦点尺寸5μm,穿透铝材70-100mm。
成像系统:数字平板探测器,分辨率2048×2048,像素尺寸125μm,帧率30FPS,支持40Lp/cm空间分辨率。
检测能力:最小可识别缺陷0.5μm,支持2D/3D成像及CT扫描重建。
载物平台:XYZ三轴电动控制,Z轴行程450mm,支持多角度动态拍摄与十字光标精准定位。
安全防护:辐射泄漏剂量<1μSv/h,配备铅玻璃、联锁装置与剂量监控,符合CE/FDA标准。
设备尺寸:800×700×1700mm?,重量1000kg,电源要求AC220V±10%,50/60Hz,功耗≤3kW。
产品特点
高精度成像:5μm焦点尺寸,清晰显示微米级缺陷,满足半导体行业严苛标准。
智能分析系统:内置AI算法自动识别21类缺陷,误判率<1%,支持气孔占比测算与图像拼接。
自动化操作:XYZ三轴协同,Z轴物理放大倍率可调,操作台支持坐/站立多角度调节。
安全防护设计:五重辐射防护机制,通过国际安全认证,确保操作人员健康。
模块化扩展性:光源与探测器可快速更换,支持MES系统对接与AOI自动分拣模块扩展。
多功能成像模式:支持多能量融合拍摄、大面积产品图片拼接及三维断层扫描(CT重建)。
高效检测效率:300mm晶圆检测周期≤3分钟/片,适合大规模生产线集成。