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电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积

电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积

344
规格/型号：Explorer
品牌：纳腾
应用领域：加工设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：上海纳腾仪器有限公司
咨询电话:：021-6428 3335（请说明信息源自“B—sports必一网”）
更新时间：2025-07-07
级别：待认证

电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积说明介绍

Explorer 电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积

Explorer 电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积


Explorer是多功能的高真空研发和中试生产平台，其配置可为电子束(e-beam) 蒸发、电阻蒸发或磁控溅射。所有三种配置中均可选配离子辅助沉积功能。Explorer可在半手动模式下使用，也可升级到全自动模式，一键自动化操作，可以减少系统停机时间。

用途：

光学镀膜表征和设计  半导体器件开发   CIGS 和高级材料研究

高端电子显微镜样品制备 质量保证 故障分析

优势：

Explorer凭借灵活的腔室尺寸可以容纳8英寸大的基片。溅射配置适合直流、脉冲直流和射频溅射，并具备共聚焦溅射能力。可以选择专有PEM技术，该技术是针对金属氧化物和氮化物过渡模式下高速反应溅射的闭环控制系统。

我们提供多种抽真空配置—扩散泵、冷泵和涡轮泵—泵可安装在设备后部或底部来满足工艺需求，并提供快速抽气能力满足高产能需求。

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电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积 加工设备
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企业认证：
  
所属领域：
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企业性质：
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经营范围：
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联系电话：
021-6428 3335
详细地址：
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