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高真空溅射镀膜仪

高真空溅射镀膜仪

239
规格/型号：Leica EM SCD500
品牌：纳腾
应用领域：加工设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：上海纳腾仪器有限公司
咨询电话:：02164283335（请说明信息源自“B—sports必一网”）
更新时间：2025-07-08
级别：待认证

高真空溅射镀膜仪说明介绍

高真空溅射镀膜仪 Leica EM SCD500

高真空溅射镀膜仪 Leica EM SCD500


Leica EM SCD500高真空溅射镀膜仪是一款无油高真空系统，专为FE-SEM观察前的样品镀膜、TEM/EDX喷涂以及多层膜样品制备设计。它具备多种功能，包括金属溅射镀膜、辉光放电、蚀刻（样品清洁）、碳丝蒸发镀膜、碳棒蒸发镀膜、金属热阻蒸发镀膜，还可选配液氮冷台（适配EM VCT100）。设备配备金属靶档板，适用于特殊溅射靶材的预溅射，确保镀膜纯度。可选配石英膜厚监控器，实现程序化控制膜厚并反馈镀膜仪。样品室尺寸有标配?106mm和选配?205mm（可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形）两种规格。操作简单，带有LED指示，机身印有操作说明。

无油高真空系统，适合FE-SEM观察前样品镀膜机TEM/EDX喷涂要求；也可应用于制备多层膜样品

*功能：金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻（样品清洁）/碳丝蒸发镀膜/碳棒蒸发镀膜/金属热阻蒸发镀膜/加装液氮冷台（适配EM VCT100)

*带有金属靶档板，适用于特殊溅射靶材的预溅射，确保镀膜纯度

*可选配石英膜厚监控器，可程序化控制膜厚，并反馈镀膜仪

*样品室尺寸：标配?106mm,选配?205mm（可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形）

*操作简单，带有LED指示，机身印有操作说明
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高真空溅射镀膜仪 镀膜仪 加工设备
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企业认证：
  
所属领域：
加工设备
企业性质：
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经营范围：
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联系电话：
02164283335
详细地址：
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