工作原理
Smartzoom 5采用电动变倍物镜(0.5×-2000×连续变焦)与高分辨率CMOS传感器(像素尺寸2.2μm)协同工作:检测时,用户通过10.1英寸触摸屏选择观察模式(明场、暗场、偏光、微分干涉),设备自动调整LED环形光源(亮度0-100%可调,波长365-780nm可选)与物镜位置(Z轴行程50mm,分辨率0.1μm);样品固定于电动载物台(X/Y轴行程100mm×100mm,定位精度±1μm),支持5轴联动控制(X/Y/Z/旋转/倾斜);图像数据经千兆以太网传输至嵌入式处理器(Intel Core i7-11800H,内存16GB),结合AI图像增强算法(基于深度学习的降噪、对比度优化与超分辨率重建)实时生成高动态范围图像(分辨率最高5184×3456像素);三维形貌分析模块通过多角度图像拼接(支持9×9网格拼接)与立体视觉算法,可重建样品表面三维模型(垂直分辨率0.1μm,水平分辨率1μm),并输出粗糙度(Ra/Rz)、轮廓度、孔隙率等参数。
应用范围
覆盖多行业微观检测场景:半导体(晶圆表面划痕、芯片键合层空洞、封装体裂纹)、电子制造(PCB板焊点虚焊、BGA引脚氧化、显示屏像素缺陷)、材料科学(金属疲劳裂纹、复合材料界面脱粘、陶瓷表面粗糙度)、生命科学(细胞形态观察、组织切片三维重建)及精密机械(齿轮啮合面磨损、刀具刃口崩刃、3D打印金属件表面质量)等,尤其适合检测微米级缺陷(如0.5μm级裂纹、1μm级颗粒)、复杂表面形貌(如纹理、凹凸、孔洞)或透明/半透明材料(如玻璃、塑料、胶体);支持与自动化产线集成,通过IO接口与PLC联动,实现“上料-检测-分类-下料”全流程自动化,适配节拍≤30秒/件的在线检测需求。
技术参数
物镜:电动变倍0.5×-2000×,数值孔径0.01-0.95;传感器:1/1.2英寸CMOS,像素尺寸2.2μm,分辨率5184×3456;光源:LED环形光源(亮度0-100%可调,波长365-780nm可选),同轴照明与斜射照明可选;载物台:电动X/Y/Z/旋转/倾斜,X/Y轴行程100mm×100mm,定位精度±1μm,旋转范围0-360°,倾斜范围±45°;图像处理:AI图像增强(降噪、对比度优化、超分辨率重建),支持9×9网格拼接;三维重建:垂直分辨率0.1μm,水平分辨率1μm,粗糙度测量范围Ra 0.01-10μm;接口:千兆以太网、USB 3.0、HDMI、IO控制;工作温度:5℃-40℃;工作湿度:20%-80%RH;电源:AC100-240V 50/60Hz;重量:35kg;尺寸:450mm×400mm×600mm。
产品特点
全系列通过ISO 9001质量管理体系认证,AI图像增强算法使图像信噪比提升40%,检测效率提高5倍;5轴电动控制支持一键式自动对焦、自动拼接与自动测量,操作门槛降低70%;模块化设计支持物镜、光源、载物台快速更换,适配不同检测需求;配备自研显微检测软件(支持Windows/Linux双系统),集成图像采集、分析、报告生成全流程功能,兼容第三方软件(如ImageJ、MATLAB);10.1英寸触摸屏支持手势缩放、旋转、标注,操作体验媲美智能手机。Smartzoom 5以“亚微米级分辨率、一键式智能操作”的特性,成为微观检测领域的标杆设备。