江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:B—sports必一 > 有色产品 >

> 加工设备

> 摇臂式集成控制PECVD设备

摇臂式集成控制PECVD设备

摇臂式集成控制PECVD设备

178
规格/型号:KJ-PECVD-L
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“B—sports必一网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

摇臂式集成控制PECVD设备说明介绍

摇臂式集成控制PECVD设备

设备介绍

科佳高真空PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。通过射频电源将石英真空室中的气体改变为离子状态,等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长。

产品优势

更好的沉积效率

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

所需温度更低

PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

成品质量好

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

技术参数

产品名称 摇臂式集成控制PECVD设备

产品型号 KJ-PECVD

第一部分滑轨管式炉部分

炉管尺寸 Φ25mmX1600mm(最终长度取决于最终设计)

炉管材料 石英管

加热区 200+200mm (双温区)

工作温度 ≤1100°C

最高温度 1200°C

温度控制方法 N型热电偶

控制方式 触摸屏控制,带独立摇臂,可根据实际需要调节温控屏角度,使用更方便

温度控制精度 ±1℃

温度控制保护 具有过热和烧毁保护功能

加热速率 建议≤10?C/min,最大20?C/min

加热元件 电阻丝

工作电压 交流220V单相50HZ/60HZ(电路电压用户可选择定制)

加热功率 4KW

炉膛材料 氧化多晶纤维

炉膛结构 炉体有滑轨,可实现快速加热和冷却

真空法兰 标准配置配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统 炉管和法兰采用硅胶O型圈挤压密封,拆卸方便,可反复拆卸,气密性好。

外壳 碳钢或不锈钢外壳

可选 辅助冷却风扇

第二部分真空系统部分

名称 真空系统

主要参数 1.采用中国品牌高真空分子泵组,极限真空度可达6.7x10-3pa(空冷状态)

2.KF25快速连接,不锈钢波纹管,手动挡板阀和法兰,真空泵连接;

3、数字真空显示,测量范围为5×10-50-150mbar,测量精度高

第三部分供气系统部分

名称 四通质量流量计

主要参数 四通道精密质量流量计:触摸屏控制、数字显示、自动控制

1、流量范围:MFC 1-MFC3:10-1000sccm可调

MFC1:CH4 0-10sccm

MFC2:H2 0-200sccm

MFC3:0-200sccm

MFC4:0-300sccm

控制精度:±1.5%F.S。

2.一个混合罐

3.供气系统左侧安装4个不锈钢针阀,可手动控制4种气体;

4.进风口和出风口:4进1出

流量控制:LCD触摸屏

注:不支持液体或腐蚀气体。

第四部分等离子电源部分

名称 500W等离子电源

功率范围 0-500W(连续可调)

工作频率 13.56兆赫+0.05%

操作模式 连续输出

RF输出阻抗接口 N型,内螺纹(50Ω)

功率稳定性 ≤2W

最大反射功率 70W

电源保护设置 直流过流保护、功率放大器过温保护、反射功率保护

电源电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ

冷却法 空气冷却
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0

全国热门有色金属设备推荐

河南鸿炉机械设备有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
17737149370
详细地址:
-

报名参会

湖南 - 长沙
2025年08月07日 ~ 09日
北京 - 北京
2025年08月08日 ~ 10日
陕西 - 榆林
2025年08月10日 ~ 12日
宁夏 - 银川
2025年08月14日 ~ 16日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

厂家:山东润格环保科技有限公司
厂家:山东润格环保科技有限公司
厂家:山东鑫沃德智能装备有限公司
厂家:山东润格环保科技有限公司
厂家:山东鑫沃德智能装备有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

? 提耙式刮泥机
2025-07-24
? 桁车刮吸泥机
2025-07-24
? 金属光纤切割机
2025-07-24
? 滗析器
2025-07-24
? 真空带式压滤机
2025-07-24
? 涡凹气浮设备
2025-07-24
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记