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混气PECVD设备

混气PECVD设备

181
规格/型号:KJ-T1200 PECVD
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“B—sports必一网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

混气PECVD设备说明介绍

混气PECVD设备

设备介绍

KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。

产品优势

成品质量好

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

更好的沉积效率

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

所需温度更低

PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

技术参数

型号 KJ-T1200 PECVD

等离子射频电源

输出功率 5 -500W可调,均匀性 ± 1%

RF频率 13.56 MHz ±0.005%

反射功率 最大 200W

冷却 空气冷却

管式炉部分

显示 LED

形式 分体式和上部可打开

连续工作温度 ≤1100℃

升温速率 建议:0~10℃/min

温区长度 500mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 含钼电阻丝

热电偶 N型

温度均匀性 ±1℃

炉管尺寸 200m外径 *长度1600mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

材质:石英管

温度控制 通SCR功率控制进行 PID 自动控制

加热曲线 30步可编程

法兰 不锈钢带阀真空法兰
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河南鸿炉机械设备有限公司
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所属领域:
材料制备
企业性质:
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经营范围:
-
联系电话:
17737149370
详细地址:
-

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