工作原理
设备通过X射线管激发样品表面元素,探测器捕捉特征荧光信号后,利用多元迭代EFP算法对一次荧光、二次荧光及靶材荧光数据进行解耦分析。例如,检测钕铁硼磁铁表面Ni/Cu/Ni/FeNdB四层镀层时,可精准区分第一层与第三层镍的厚度,误差≤±0.1%,同时识别镀层中Pb、Cd等有害元素含量,满足RoHS指令要求。其核心优势在于无需标样即可实现多层镀层的成分与厚度同步分析,且支持凹槽深度0-90mm的曲面样品检测。
应用范围
航空航天:测量飞机蒙皮铝镁合金阳极氧化膜、涡轮叶片热障涂层厚度;
汽车制造:验证车身电泳漆、面漆厚度及均匀性,检测电池模组铜排镀镍层;
新能源领域:分析锂电池极片铜箔/铝箔表面涂碳层厚度及碳含量均匀性;
电子电器:检测PCB板镀金层、手机外壳PVD镀膜厚度及耐磨性。
典型案例包括某新能源汽车企业通过该设备完成电池模组镀层检测,单次测量耗时≤2秒,效率较传统方法提升5倍。
技术参数
测量范围:0.005μm-9000μm;
元素分析:Cl(17)-U(92),检出限1ppm;
分辨率:0.001μm(镀层),0.1nm(光谱);
样品台:全自动XY移动平台(210mm×230mm),Z轴移动范围145mm;
光学系统:微光聚焦技术,光斑扩散度<10%(0-90mm变焦距离);
仪器尺寸:550mm×480mm×470mm,重量45kg。
产品特点
高精度智能:采用德国进口传感器,误差控制在±1%±1μm内,支持一键自动校准与数据存储;
一机多用:集成镀层测厚、成分分析及RoHS检测功能,适配铁磁性/非铁磁性基体;
高效稳定:宽光谱卤素灯光源与无感自动对焦系统,实现1.2m×0.7m大尺寸样品多点位无损检测;
耐用可靠:探头采用SU-8胶防护层,耐溶剂腐蚀,使用寿命超8年。