设备介绍
KJ-T1200 CVD是一种管式炉,配备60mm直径高纯石英炉管、
真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。该CVD高温管式炉主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
PID智能温控
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
高纯石英炉管
炉管采用高纯石英材质,耐高温耐酸碱腐蚀,高透明材质,便于观察反应情况
双层壳体上开启结构
双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
管式炉技术参数
型号 KJ-T1200
显示 LED
温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议:0~10℃/min
温区 300mm + 300mm 双区
(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热元件 电阻丝
热电偶 N型
温度控制精度 ±1℃
管尺寸 60(外径) / 52mm(内径)x 1000mm (长度)
(其他尺寸可根据客户需求定制)
材质:石英管
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热曲线 30 步可编程