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立式双温区CVD系统

立式双温区CVD系统

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规格/型号:KJ-TCVD1100-S40CK2
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“B—sports必一网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

立式双温区CVD系统说明介绍

立式双温区CVD系统

设备介绍

该立式双温区CVD系统主要由:1200度双温区管式炉、3通道质量流量计供气系统、2L/S抽速真空泵及相关连接件组成;设备下方加装定向轮和万向轮,设备整体占地尺寸小并可灵活移动。该设备适用于CVD工艺,主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品优势

多段智能PID程序控温

控温系统采用PID方式调节,多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步

立式可开启结构

双层壳体立式可开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

优良的动密封系统

不锈钢金属法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空,同时连接3种气源至微正压

技术参数

设备名称 立式CVD系统

设备型号 KJ-TCVD1100-S40CK2

流化床管式炉部分

最高温度 1200 ℃

工作温度 ≤1100℃

显示 LCD触摸屏

管径 外径40mm*长度1100mm(其他尺寸可按客户需求定制)

管材 高纯石英管

加热元件 优质电阻丝

加热速率 0~10℃/min

温度控制 ?多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步

?触屏多段智能PID程序控温 ,烧结数据可记录并以excel形式导出

?内置超温和热电偶故障保护

热电偶 N型热电偶测温

密封方式 定制不锈钢真空法兰一套含密封

炉膛 双层钢制外壳,带双冷却风扇,双温区立式开启结构,取放炉管方便

炉膛材质为氧化耐火纤维,保温节能

真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰

供气系统:3路质量流量控制系统

气体通道 可同时连接3种气源至微正压

流量计 质量流量计(可选其他量程)

气路压力 -0.1~0.15 MPa

截止阀 不锈钢材质

气路连接管 1/4不锈钢管

真空泵+真空计系统

真空泵 真空泵配硅胶软管可快速置换炉管内气体
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